WF6 ត្រូវបានប្រើជាចម្បងជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ដំណើរការបំភាយចំហាយគីមី (CVD) នៃដែក tungsten នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក។ WSi2 ផលិតពី WF6 អាចត្រូវបានប្រើជាសម្ភារៈខ្សែភ្លើងនៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាខ្នាតធំ (LSI) ហើយក៏អាចប្រើជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់អេឡិចត្រូត semiconductor, fluorine វត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ភ្នាក់ងារគីមី កាតាលីករ polymerization វត្ថុធាតុអុបទិក។ល។